国际洁净室标准-美国联邦FS-209标准
2014-07-16

美国联邦FS-209标准

1963年底美国联邦标准FS-209颁布实施以后,即成为国际上通行的洁净室标准。随着各国洁净技术的发展,209标准在使用中遇到的各行各业特别是微电子工业发展中提出的空气洁净度等级为10级、1级以及采用国际单位制的要求,促使对209标准进行了不断的修订。fs-209E的空气悬浮粒子洁净度等级见表1-2。


空气悬浮粒子洁净度等级


图2-5 图解形式表示的各项ISO空气洁净度等级的粒子浓度值


空气洁净度等级的粒子浓度值


209E标准中,对中间任意等级的上限浓度可近似地用式(2-4)和式(2-5)计算:


公式


式中 M——采用国际单位制时洁净度等级的表示值;d——考虑的粒径(µm); NM——大于或等于粒径(d)的尘粒的上限浓度(pc/m³)。


公式


式中N采用英制单位制时洁争度等级的表示值;d-考虑的粒径(m);大于或等于粒径(d)的尘粒的上限浓度(pc/ft³)。

 

209E标准中,同时可使用国际单位和英制单位,但优先采用国际单位。当采用国际单位时,空气洁净度等级名称为每立方米空气中粒径≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数的常用对数值(以10为底,到小数点后一位);当用英制单位时,洁净度等级名称为每立方英尺空气中粒径≥0.5μm尘粒的最大允许粒子数。对于大于M4.5级(1000级)的各个等级,可通过则定粒径≥0.5μm或粒径≥5μm范围内的粒子数来确定。对于大于M3.5级(100级)并小于M4.5级(1000级)的各个等级,可通过测定以下一个或几个粒径相应的粒子数来确定≥0.2μm,≥0. 3μm,≥0. 5μm:对于小于M3.5级(100级)的各个等级,可通过测定:≥0.1μm,≥0. 2μm,≥0. 3μm和≥0.5μm中的一个或几个粒径相应的粒子数来确定。对于粒径尺寸从0.02μm到粒子计数器检则上限值的粒子称为超微粒子,没有规定如何划分超微粒子的等级,但在209E 中规定了以U为超微粒子允许浓度的表示方法,它可以独立于表1-2的13个级别外使用,也可作为空气洁净度等级的补充。其格式为: U(i) ,此处的i表示超微粒子的最大允许浓度(pc/m³)。.

 

例如“U(20)”,表示每立方米空气中含有的超微粒子数不超过20个。

 

M1.5级(0.31μm),U(2000) 表示粒径≥0.3μm粒径的粒子数不超过106pc/m³,同时超微粒子数不超过2000/m³。

 

FS-209E标准中,对空气洁净度等级的占用状态未作规定,表1-2中表示为某一级别本身的定义, 即以空气中最大允许粒子数(pc/m³)或(pc/ft³)来确定。最大允许粒子则明确只有则点数在10点以下时用统计计算方法,否则用平均值。209E标准明确规定空气洁争度等级的表达方式为X级(在Yμm下)。此处代表悬浮粒子洁净度等级的数值,Y代表粒径。

 

例如:“M2.5级(在0.3μm和0.5μm下)”,表示空气中粒径≥0.3μm的粒子数不大于1060pc/m³,粒径≥0.5μm的粒子数不大于353pc/m³。

 

100级(0.5μm下)”;表示空气中粒径≥0.5pm的粒子数不大于100pc/ft³。

 

209E标准中明确说明,该标准仅涉及空气中悬浮粒子的尺寸等级和数童不涉及悬浮粒子的物理、化学、生物或放射等特性,没有确定悬浮粒子浓度和生物性粒子之间普遍的、通用的关系。

 


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